Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. учебное пособие для вузов
Этот товар закончился.
Описание и характеристики
ID товара
2448654
Издательство
Юрайт
Год издания
2014
ISBN
978-5-9916-4292-7
Количество страниц
258
Размер
1.5x13.4x20.6
Тип обложки
Твёрдый переплёт
Тираж
40
Вес, г
289
Возрастные ограничения
0+
Отзывы
15 бонусов
за полезный отзыв длиной от 300 символов
15 бонусов
если купили в интернет-магазине «Читай-город»
Оставьте отзыв и получите бонусы
Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.
Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.
.Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
.Для студентов, обучающихся по инженерно-техническим направлениям и специальностям, а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.