Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
-29%
Описание и характеристики
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
ID товара
2842331
Издательство
Лань
Серия
Высшее образование. Лань
Год издания
2021
ISBN
978-5-8114-5788-5
Количество страниц
220
Размер
1.2x17.1x24.1
Тип обложки
Твёрдый переплёт
Тираж
30
Вес, г
409
1 482 ₽
2 089 ₽
+ до 222 бонусов
Осталось мало
В магазины сети, бесплатно
ЗавтраАдреса магазинов
Другие способы доставки
Отзывы
15 бонусов
за полезный отзыв длиной от 300 символов
15 бонусов
если купили в интернет-магазине «Читай-город»
Оставьте отзыв и получите бонусы
Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.
Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».