Ионная и фотонная обработка материалов
Описание и характеристики
ID товара
3061883
Издательство
Вышэйшая школа
Год издания
2022
ISBN
978-985-06-3395-8
Количество страниц
246
Размер
1.8x14.6x20.5
Тип обложки
Твёрдый переплёт
Тираж
200
Вес, г
380
2 519 ₽
+ до 377 бонусов
Последний экземпляр
В магазины сети, бесплатно
ЗавтраАдреса магазинов
Другие способы доставки
Отзывы
15 бонусов
за полезный отзыв длиной от 300 символов
15 бонусов
если купили в интернет-магазине «Читай-город»
Оставьте отзыв и получите бонусы
Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.
Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.