МЭМС: конструкции, технологии, приложения

Описание и характеристики

В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительного развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений – микроэлектромеханических систем (МЭМС).

Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию – от студентов, аспирантов и преподавателей технических ВУЗов, специализирующихся в области микроэлектроники, до инженеров-разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров-технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической техники.

В семнадцати тематических главах последовательно, на конкретных примерах рассмотрены все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств, основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусирования МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования, и заканчивая стандартами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств.

Подробно, в объеме отдельных глав, рассмотрены особенности технологии и конструкции оптических МЭМС (ОМЭМС), наноэлектромеханических систем (НЭМС), а также основные сферы применения МЭМС – в автомобилестроении (противоугонные и навигационные системы, системы безопасности, датчики давления в шинах, датчики электронных систем управления двигателей, обеспечение курсовой устойчивости, управления тормозами и т.д.), биомедицинские приложения МЭМС (био-МЭМС, применения в хирургии, офтальмологии, имплантируемые датчики, для обработки внутрисердечных сигналов, для систем электроэнцефалограмм, в томографии, микрофлюидные кристаллы и др.), а также СВЧ-приложения.

Завершает книгу глава, посвященная бесплатформенным инерциальным навигационным системам ориентации и навигации на основе МЭМС-датчиков (принципы построения, методы калибровки инерциальных чувствительных элементов, информационно-управляющие системы вращающихся по крену летательных аппаратов).
ID товара 3075122
Издательство Техносфера
Год издания
ISBN 978-5-94836-688-3
Количество страниц 620
Размер 3.8x17.1x24
Тираж 500
Вес, г 1094
2 619 ₽
+ до 392 бонусов
Осталось мало

В магазины сети, бесплатно

ЗавтраАдреса магазинов

Другие способы доставки
2

Отзывы

15 бонусов

за полезный отзыв длиной от 300 символов

15 бонусов

если купили в интернет-магазине «Читай-город»

Полные правила начисления бонусов за отзывы
Оставьте отзыв и получите бонусы
Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.
Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.
В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительного развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений – микроэлектромеханических систем (МЭМС).

Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию – от студентов, аспирантов и преподавателей технических ВУЗов, специализирующихся в области микроэлектроники, до инженеров-разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров-технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической техники.

В семнадцати тематических главах последовательно, на конкретных примерах рассмотрены все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств, основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусирования МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования, и заканчивая стандартами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств.

Подробно, в объеме отдельных глав, рассмотрены особенности технологии и конструкции оптических МЭМС (ОМЭМС), наноэлектромеханических систем (НЭМС), а также основные сферы применения МЭМС – в автомобилестроении (противоугонные и навигационные системы, системы безопасности, датчики давления в шинах, датчики электронных систем управления двигателей, обеспечение курсовой устойчивости, управления тормозами и т.д.), биомедицинские приложения МЭМС (био-МЭМС, применения в хирургии, офтальмологии, имплантируемые датчики, для обработки внутрисердечных сигналов, для систем электроэнцефалограмм, в томографии, микрофлюидные кристаллы и др.), а также СВЧ-приложения.

Завершает книгу глава, посвященная бесплатформенным инерциальным навигационным системам ориентации и навигации на основе МЭМС-датчиков (принципы построения, методы калибровки инерциальных чувствительных элементов, информационно-управляющие системы вращающихся по крену летательных аппаратов).