Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие
Этот товар закончился.
Описание и характеристики
ID товара
2197915
Издательство
БИНОМ. Лаборатория знаний
Год издания
2009
ISBN
978-5-94774-904-5
Количество страниц
277
Размер
1.8x14.5x22.5
Тип обложки
Твёрдый переплёт
Тираж
1000
Вес, г
379
Отзывы
15 бонусов
за полезный отзыв длиной от 300 символов
15 бонусов
если купили в интернет-магазине «Читай-город»
Оставьте отзыв и получите бонусы
Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.
Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.