Основы автоматизации техпроцессов. Учебник (Основы наук). Щагин А. и др. (Юрайт)

Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных. Для студентов, обучающихся по специальностям: «Управление и информатика в технических системах» (специалист), «Микроэлектроника и твердотельная электроника» (специалист), «Электронное машиностроение» (специалист), «Автоматизация технологических процессов и производств (по отраслям)» (специалист), «Электроника и микроэлектроника» (бакалавр), «Автоматизация и управление» (бакалавр), аспиранты, научные работники и инженеры. Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. .