Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Описание и характеристики
ID товара
2723720
Издательство
МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания
2019
ISBN
978-5-70-384864-7, 978-5-7038-4864-7
Количество страниц
122
Размер
0.7x16.5x23.5
Тираж
100
Вес, г
209
1 149 ₽
+ до 172 бонусов
Последний экземпляр
В магазины сети, бесплатно
ЗавтраАдреса магазинов
Другие способы доставки
Отзывы
15 бонусов
за полезный отзыв длиной от 300 символов
15 бонусов
если купили в интернет-магазине «Читай-город»
Оставьте отзыв и получите бонусы
Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.
Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
.Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».