Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Этот товар закончился.
Описание и характеристики
ID товара
2525481
Издательство
БИНОМ. Лаборатория знаний
Серия
Нанотехнологии
Год издания
2010
ISBN
978-5-9963-0032-7
Количество страниц
283
Размер
1.5x15x22
Тип обложки
Твёрдый переплёт
Тираж
770
Вес, г
400
Отзывы
15 бонусов
за полезный отзыв длиной от 300 символов
15 бонусов
если купили в интернет-магазине «Читай-город»
Оставьте отзыв и получите бонусы
Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.
Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии н оборудования
.Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
.