Введение в современную микро- и наносистемную технику
Описание и характеристики
ID товара
3006673
Издательство
Инфра-Инженерия
Год издания
2024
ISBN
978-5-9729-1613-9
Количество страниц
232
Размер
1.8x15.4x21.7
Тип обложки
Твёрдый переплёт
Вес, г
390
1 569 ₽
+ до 235 бонусов
Осталось мало
В магазины сети, бесплатно
СегодняАдреса магазинов
Другие способы доставки
Отзывы
15 бонусов
за полезный отзыв длиной от 300 символов
15 бонусов
если купили в интернет-магазине «Читай-город»
5.0
Диана
29.10.2024
Уже жду следующую книгу автора
Большое спасибо автору за такой замечательный труд, очень мало русскоязычных книг про изготовление ИМС, технологические процессы и оборудование. Прекрасный обзор на полуроводниковое производство, здорово, что есть глава про чистые помещения, описания и параметры процессов. Хотелось бы ещё больше подробностей по каждому из них, больше информации с деталями по оборудованию, но и так книга замечательная.
Плюсы
Описание всех операций изготовления ИМС
Минусы
Нет главы про химико-механическую полировку и планаризацию, но этот процесс мало где описан
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.